半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

事業内容

当社は半導体製造装置及び関連機器の洗浄業務を中心とした
半導体関連機器のエンジニアリング＆メンテナンス事業を行っております。

主な事業内容

メンテナンス事業

国産・海外問わずMOCVD装置等の反応室・供給系・排気系のメンテナンスを定期的に受託しております。

メンテナンス内容はお客様のご希望に合わせ、現地分解作業、引き取り、組み立ても行っております。

精密洗浄事業

被洗浄物の使用箇所、付着物、装置の材質、汚染程度から最適な洗浄メニューを選択し、独自の洗浄技術により安全で万全な方法による分解洗浄を行います。

カーボン部品洗浄

MOCVD装置チャンバー内に使用するカーボン部品を高温にてドライクリーニングを行い再生使用可能にし、コスト・廃棄物の削減に貢献しております。

石英SICコート部品洗浄

当社ではお客様のご要望により他社より先駆けてGaN系装置の部品のドライ洗浄技術を研究開発しておりました。
実験により、ドライ洗浄技術を確立し、大型チャンバーの導入を行いました。