メンテナンス事業
MOCVD・MBE装置のオーバーホール
国産・海外問わずMOCVD装置等の反応室・供給系・排気系のメンテナンスを定期的に受託しております。
メンテナンス内容はお客様のご希望に合わせ、現地分解作業、引き取り、組み立ても行っております。
弊社は単なる洗浄・組み立て作業ではなく、再現性・安定性にこだわったメンテナンスを行い製品の品質、歩留まり、稼働率に大きな貢献をしております。 また、安定稼動により生産コスト削減のご協力を行っております。
移設・据付・撤去・廃棄
装置・コンポーネントの移設・据付・撤去処分を行います。
発生した廃棄物については完全無害化後、各種法令に従い処分を行います。
(廃棄物に対し必要な場合、マニュフェスト発行をいたします。)
供給系・排気系の設置、撤去
供給系、排気系設備、配管の新設、撤去、更新を安全な作業方法にて行います。
装置の復元
装置・部品が使用中に破損や劣化した場合の復元作業にご協力いたします。
遊休状態から再稼動を行う際、使用可能状態に復元します。
各種コンポーネントの部品供給・修理・再生
外国製・国産の部品の供給・修理・製作を行っております。
消耗品（純正品又は、互換性能確認済品）の供給を行っております。
- 各メーカー製 カーボン製品（プラッター・サセプター）
- リントラップ
- 砒素トラップ
- ロータリーポンプ
- ドライポンプ
- ゲートバルブ
- ニューマチックバルブ等の各種コンポーネント及び除外装置等
