半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

精密洗浄事業

洗浄方法

化学洗浄

被洗浄物に最適な薬剤を用い、装置・部品を洗浄します。

物理的洗浄

当社独自の洗浄機器を使用し、装置・部品に損傷を与えることなく洗浄します。

特殊洗浄

当社の経験ノウハウによる洗浄装置・工程を駆使し、従来では洗浄困難な部品の洗浄を行います。

真空テスト（ヘリウムリーク試験）　

被洗浄物に最適な薬剤を用い、装置・部品を洗浄します。

精密洗浄対象機械

・MOCVD装置 ・各種チャンバー ・リントラップ ・ロータリーポンプ ・ディヒュージョンポンプ ・防着板	・MBE装置 ・ゲートバルブ ・砒素トラップ ・イオンポンプ ・サセプタ	・CVD装置ウエハーホルダー ・バルブ等 ・ドライポンプ ・ターボブンシポンプ ・イオンソース

精密洗浄参考画像