半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

精密洗浄事業

洗浄方法

化学洗浄
被洗浄物に最適な薬剤を用い、装置・部品を洗浄します。
物理的洗浄
当社独自の洗浄機器を使用し、装置・部品に損傷を与えることなく洗浄します。
特殊洗浄
当社の経験ノウハウによる洗浄装置・工程を駆使し、従来では洗浄困難な部品の洗浄を行います。
真空テスト(ヘリウムリーク試験) 
被洗浄物に最適な薬剤を用い、装置・部品を洗浄します。

精密洗浄対象機械

・MOCVD装置
・各種チャンバー
・リントラップ
・ロータリーポンプ
・ディヒュージョンポンプ
・防着板
・MBE装置
・ゲートバルブ
・砒素トラップ
・イオンポンプ
・サセプタ
・CVD装置ウエハーホルダー
・バルブ等
・ドライポンプ
・ターボブンシポンプ
・イオンソース

精密洗浄参考画像