半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

工場設備

・スクラバー設備・除害廃棄設備 2台
・洗浄用自社専用設備 7台
・純水供給装置 3台
・超音波等洗浄機 2式
・乾燥機 5台
・真空乾燥機 1台
・クリーンブース 3台
・クリーンドラフト 5台
・リークディテクター 4式
・各種工作機械 5台
・安全対策装置 1式
・機器輸送車 3台
・ガスモニター,その他計測器(内ガスモニター5台) 1式
・クリーンルーム 1室
・緊急除害装置 1式
・超大型ベーキング専用チャンバー →→ 詳細仕様▶ 1台
・ナイトライド系専用チャンバー →→ 詳細仕様▶ 1台

工場外・内観