半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

半導体製造機器のメンテナンスや洗浄

メンテナンス事業

メンテナンス事業

国産・海外問わずMOCVD装置等の反応室・供給系・排気系のメンテナンスを定期的に受託しております。
メンテナンス内容はお客様のご希望に合わせ、現地分解作業、引き取り、組み立ても行っております。
精密洗浄事業

精密洗浄事業

被洗浄物の使用箇所、付着物、装置の材質、汚染程度から最適な洗浄メニューを選択し、独自の洗浄技術により安全で万全な方法による分解洗浄を行います。
カーボン部品洗浄

カーボン部品洗浄

MOCVD装置チャンバー内に使用するカーボン部品を高温にてドライクリーニングを行い再生使用可能にし、コスト・廃棄物の削減に貢献しております。
石英SICコート部品洗浄

石英SICコート部品洗浄

当社ではお客様のご要望により他社より先駆けてGaN系装置の部品のドライ洗浄技術を研究開発しておりました
。実験により、ドライ洗浄技術を確立し、大型チャンバーの導入を行いました。

各メーカーのMOCVD装置、MBE装置等のメンテナンス業務、 それに伴う精密洗浄業務、独自の特殊ベーキングチャンバー等の 大規模な設備でのドライ洗浄サービス行っております。 当社の業務は、お客様の運営コスト削減にご協力できることは もとより、廃棄物の削減や廃液の安全な管理・処理を通じて 地球環境の維持に貢献しております。

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