半導体製造機器を洗浄・ドライベーキングクリーニングで再生

GaAs・InP系カーボン部品の再生、洗浄

当社独自コンセプトの設計による、
超大型、超高温チャンバーによるドライベーキングﾞクリーニング事業

MOCVD装置チャンバー内に使用するカーボン部品を高温にてドライクリーニングを行い再生使用可能にし、コスト・廃棄物の削減に貢献しております。
又、ベークの脱ガス効果により仕上がりの製品の品質を向上させております。
新品カーボンの導入の際のベーキング業務もうけたまわっております。